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CVD法合成SiC晶须的实验研究

陈卫武 , 邹宗树 , 王天明

金属学报

利用简单的实验设备,特殊的金属丝作触媒,以SiO2和C为原料,利用碳热还原反应生成的SiO和CO,通过CVD(化学气相沉积)的方法快速合成α-SiC晶须用光学显微镜研究了晶须的生长速度,通过TEM研究α-SiC晶须的结构和生长方式讨论了这种方法中α-SiC晶须生长的热力学条件、机理及生长动力学模型

关键词: CVD , CVD method , growth rate , crystalline characteristics , kinetic model. , null

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